收藏鼎伟 新浪微博新浪微博 腾讯微博腾讯微博

您好!欢迎来到鼎伟靶材品牌官网!

免费量身定制靶材专属方案

全国咨询热线:0769-88039551

鼎伟溅射靶材 助推中国真空镀膜产业
首页 »资讯中心»常见问题

溅射靶材的技术要求

人气: 发表时间:2015-04-08 12:18:05【

纯度
靶材的纯度对溅射喷膜的性能影响很大。靶材的纯度越高,溅射喷膜的性能越好。以纯A1靶为例,纯度越高,溅射A1膜的耐蚀性及电学、光学性能越好。不过在实际应用中,不同用途的靶材对纯度的要求不同。例如,一般工业用靶材对纯度并不苛求,而半导体、显示器件等领域用靶材对纯度的要求十分严格;磁性薄膜用靶材的纯度要求一般为99.9%以上,ITO靶中In2O3和SnO2的纯度要求不低于99.99%。表列出了常用金属靶材的纯度。
               表  常用金属靶材的纯度
! V: g7 ^5 H8 t% s# ~  b
杂质含量
靶材作为溅射中的阴极源,固体中的杂质和气孔中的O2和H2O是沉积薄膜的主要污染源。靶材对纯度的要求也就是对杂质总含量的要求。杂质总含量越低,纯度就越高。此外,不同用途靶材对单个杂质含量也有不同的要求。例如,半导体电极布线用的W,Mo,Ti等靶材对U,Th等放射性元素的含量要求低于3×10-9;光盘反射膜用的Al合金靶材则要求O2含量低于2×10-4.下表列出了几种高纯金属难熔金属靶材的杂质含量。; Y/ N8 j( m( }
表  几种高纯难熔金属靶材的杂质质量  Z  d: c7 ~5 Z" h2 \$ k7 C; t
Tab.  Impurity concertration of some high purity refractory metal target materials            $ a0 o3 f3 g* Y. m
靶材 密实度/%                  杂质含量/1×10-6                                 
             Fe     Ni    Mg   Mn   Na    K    Cu   Al    Cr   U ,Th       O   9 h" u' @( u) X9 o! e
Ti     100   <1.0  <1.0  <0.5  <0.5  <0.1  <0.1  <1.0  <1.0  <1.0 <0.0010  <150
Ta     100   <0.5  <0.5  <0.5  <0.5  <0.1  <0.1  <0.5  <1.0  <0.5 <0.0010  <50
W     100   <0.1  <0.1  <0.1  <0.1  <0.1  <0.1  <0.1  <1.0  <0.1 <0.0005  <10  D# S  d+ R4 C5 T  w( r" z
Mo    100   <0.5  <0.5  <0.5  <0.5  <0.1  <0.1  <0.5  <1.0  <0.5 <0.0010  <100 9 Q; d: }4 J! D6 P2 a5 G8 {( Q

 

 


密实度
为了减少靶材固体中的气孔,提高薄膜的性能,一般要求溅射靶材具有较高的密实度。通常,靶材的密实度不仅影响溅射时的沉积速率、溅射膜粒子的密度和放电现象等,还影响着溅射薄膜的电学和光学性能。靶材越密实,溅射膜粒子的密度越低,放电现象越弱,而薄膜的性能也越好。靶材的密实度主要取决于制备工艺。一般而言,铸造靶材的密实度高,而烧结靶材的密实度则相对较低。因此,提高靶材的密实度是烧结法制备靶材的技术关键之一。
成分与结构均匀性
成分与结构均匀性是考察
成分与结构均匀性是考察靶材质量的重要指标之一。对于复相结构的合金靶材和混合靶材,不仅要求成分的均匀性,还要求组织结构的均匀性。例如,,ITO靶为In2O3-SnO2的混合烧结物,为了保证ITO膜质量,要求ITO靶中In2O3-SnO2组成均匀,都为93:7或91:9(分子比)。# ]% M/ V3 {: K$ h$ a/ ?
几何形状与尺寸
主要体现在加工精度和质量方面,如表面平整度、粗糙度等。! s' _) `; V8 R
靶材与底盘的连接
多数靶材在溅射前必须与无氧铜(或A1等其他材料)底盘连接到一起,使溅射过程中靶材与底盘的导热导电状况良好。焊接后必须经过超声波检验,保证两者的不结合区域小于2%,这样才能满足大功率溅射要求而不致脱

相关资讯

排行榜

1溅射靶材_贵金属靶材生产厂家
26N高纯铜靶材 (Cu)
3Au高纯金靶材_贵金属靶材生产厂家
44N铜靶_5N铜靶_6N铜靶厂家
5高纯度4N-5N金靶材生产厂家
6高纯黄金靶材生产厂家
7高纯度银靶材_靶材厂家_溅射靶材
8钼合金靶生产厂家
93N5/4N钽合金靶材生产厂家
10钼靶生产厂家

最新资讯文章